| รหัส# | 500-080 |
|---|---|
| เลนส์ | เลนส์เทเลเซนทริกคู่ 0.088X |
| ระยะการทำงาน | 120มม |
| ทุ่งหญ้ากว้าง | Ø116มม.(94x76) |
| ความแม่นยำในการวัด | ±4um |
| รหัส# | 525-120H |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (605*450)มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (456*348)มม. |
| การเดินทางของแกน X/Y | (400*300)มม |
| การเดินทางแกน Z | 200มม |
| รหัส# | 525-320H |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (605*450)มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (456*348)มม. |
| การเดินทางของแกน X/Y | (400*300)มม |
| การเดินทางแกน Z | 200มม |
| Vimea322A | 524-220กรัม |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*200)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความซ้ํา | 2um |
| รหัส# | 500-031 |
|---|---|
| ช่วงการวัด | 300x200x75มม. |
| หน่วยขั้นต่ำ | 0.1μm |
| ความจุ | 5กก |
| โหมดความแม่นยำสูง | 26x18มม. |
| รหัส# | 523-280K |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (600*500) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤1.8+ลิตร/200ไมโครเมตร |
| รหัส# | 523-480ลิตร |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (800*600)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤1.8+ลิตร/200ไมโครเมตร |
| รหัส# | 523-180M |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (1500*1200)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤3.0+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 521-420เจ |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (650*580) มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (540*440) มม. |
| การเดินทางแกน X/Y | (500*400)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | ระยะเดินทางที่มีประสิทธิภาพ 200มม. |
| รหัส# | 522-420กรัม |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*200)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | 0.5um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.0+L/200(ไมโครเมตร) |
