| รหัส# | 542-310 |
|---|---|
| การทำงานระยะการเดินทาง | 355x125มม. |
| การเคลื่อนที่ของแกน X/Y | 200x120มม. |
| แกน Z | 110มม |
| ความแม่นยำในการวัด | ≤3+L/200um |
| รหัส# | 542-310 |
|---|---|
| การทำงานระยะการเดินทาง | 355x125มม. |
| การเคลื่อนที่ของแกน X/Y | 200x120มม. |
| แกน Z | 110มม |
| ความแม่นยำในการวัด | ≤3+L/200um |
| รหัส# | 521-420เจ |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (650*580) มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (540*440) มม. |
| การเดินทางแกน X/Y | (500*400)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | ระยะเดินทางที่มีประสิทธิภาพ 200มม. |
| รหัส# | 523-180M |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (1500*1200)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤3.0+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 528-180H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*400) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด：0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤1.2+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 525-020P |
|---|---|
| สเตจแกรนิต | (310*220) มิลลิเมตร |
| เวทีกระจก | (179.5*129.5) มม. |
| การเดินทางของแกน X/Y | (150*100) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น X/Y | ความละเอียด: 0.5um |
| รหัส# | 525-020P |
|---|---|
| สเตจแกรนิต | (310*220) มิลลิเมตร |
| เวทีกระจก | (179.5*129.5) มม. |
| การเดินทางของแกน X/Y | (150*100) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น X/Y | ความละเอียด: 0.5um |
| รหัส# | 524-220H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความซ้ํา | 2um |
| รหัส# | 523-280K |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (600*500) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤1.8+ลิตร/200ไมโครเมตร |
| รหัส# | 528-180H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*400) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด：0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤1.2+L/200(ไมโครเมตร) |
