| รหัส# | 512-400 |
|---|---|
| ขนาดระยะการทำงาน | 455x126มม. |
| การทำงานระยะการเดินทาง | 300x150มม |
| สมาธิ | 120มม |
| ความถูกต้อง | ≤3+L/200(หนอ) |
| รหัส# | 512-400 |
|---|---|
| ขนาดระยะการทำงาน | 455x126มม. |
| การทำงานระยะการเดินทาง | 300x150มม |
| สมาธิ | 120มม |
| ความถูกต้อง | ≤3+L/200(หนอ) |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| รหัส# | 511-410 |
|---|---|
| ขนาดเวทีโลหะ | 308x408มม. |
| ขนาดเวทีกระจก | 198x306มม. |
| สเตจ ทราเวล เรนจ์ | 200x100 มิลลิเมตร |
| ขนาดผลิตภัณฑ์ | 1003x617x1309มม. |
| รหัส# | 525-020P |
|---|---|
| สเตจแกรนิต | (310*220) มิลลิเมตร |
| เวทีกระจก | (179.5*129.5) มม. |
| การเดินทางของแกน X/Y | (150*100) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น X/Y | ความละเอียด: 0.5um |
| รหัส# | 511-330 |
|---|---|
| ขนาดเวทีโลหะ | 258x308มม. |
| ขนาดเวทีกระจก | 148x206 มิลลิเมตร |
| สเตจ ทราเวล เรนจ์ | 150x100มม. |
| ขนาดผลิตภัณฑ์ | 988x563x1157มม. |
| รหัส# | 510-340 |
|---|---|
| ขนาดหน้าจอ LCD | 115มม.×85มม. |
| ความละเอียดหน้าจอ LCD | 640*480 |
| แกนแสดงผล | 3 แกน (X,Y,Z/Q) |
| ความละเอียดสเกลเชิงเส้น | 0.1 ไมโครเมตร, 0.2 ไมโครเมตร, 0.5 ไมโครเมตร, 1 ไมโครเมตร, 2 ไมโครเมตร, 5 ไมโครเมตร |
| Code# | 525-020GP |
|---|---|
| Granite Stage | (505*350)mm |
| Glass Stage | (356*248)mm |
| X/Y Axis Travel | (300*200)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Granite Stage | (390*220)mm |
| Glass Stage | (229.5*129.5)mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
