| รหัส# | 512-400 |
|---|---|
| ขนาดระยะการทำงาน | 455x126มม. |
| การเดินทางบนเวทีการทำงาน | 300x150มม |
| การโฟกัส | 120มม |
| ความแม่นยำ | ≤3+L/200(หนอ) |
| รหัส# | 512-400 |
|---|---|
| ขนาดระยะการทำงาน | 455x126มม. |
| การเดินทางบนเวทีการทำงาน | 300x150มม |
| การโฟกัส | 120มม |
| ความแม่นยำ | ≤3+L/200(หนอ) |
| รหัส# | 542-310 |
|---|---|
| การเดินทางบนเวทีการทำงาน | 355x125 มม. |
| การเดินทาง x/y-axis | 200x120 มม. |
| แกน z | 110 มม. |
| ความแม่นยำในการวัด | ≤3+l/200um |
| รหัส# | 511-410 |
|---|---|
| ขนาดเวทีโลหะ | 308x408มม. |
| ขนาดเวทีกระจก | 198x306มม. |
| สเตจ ทราเวล เรนจ์ | 200x100 มิลลิเมตร |
| มิติข้อมูลผลิตภัณฑ์ | 1003x617x1309มม. |
| รหัส# | 525-020P |
|---|---|
| เวทีหินแกรนิต | (310*220) มม. |
| เวทีแก้ว | (179.5*129.5) มม. |
| แกน x/y เดินทาง | (150*100) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น X/Y | ความละเอียด: 0.5um |
| รหัส# | 511-330 |
|---|---|
| ขนาดเวทีโลหะ | 258x308มม. |
| ขนาดเวทีกระจก | 148x206 มิลลิเมตร |
| สเตจ ทราเวล เรนจ์ | 150x100มม. |
| มิติข้อมูลผลิตภัณฑ์ | 988x563x1157มม. |
| รหัส# | 510-340 |
|---|---|
| ขนาดหน้าจอ LCD | 115มม.×85มม. |
| ความละเอียดหน้าจอ LCD | 640*480 |
| แกนแสดงผล | 3 แกน (X,Y,Z/Q) |
| ความละเอียดระดับเชิงเส้น | 0.1 ไมโครเมตร, 0.2 ไมโครเมตร, 0.5 ไมโครเมตร, 1 ไมโครเมตร, 2 ไมโครเมตร, 5 ไมโครเมตร |
| รหัส# | 525-020GP |
|---|---|
| เวทีหินแกรนิต | (505*350) มม. |
| เวทีแก้ว | (356*248) มม. |
| แกน x/y เดินทาง | (300*200) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น | ความละเอียด: 0.5um |
| รหัส# | 525-020ep |
|---|---|
| เวทีหินแกรนิต | (390*220) มม. |
| เวทีแก้ว | (229.5*129.5) มม. |
| แกน x/y เดินทาง | (200*100) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น | ความละเอียด: 0.5um |
| รหัส# | 542-310 |
|---|---|
| การเดินทางบนเวทีการทำงาน | 355x125 มม. |
| การเดินทาง x/y-axis | 200x120 มม. |
| แกน z | 110 มม. |
| ความแม่นยำในการวัด | ≤3+l/200um |
