รหัส# | 525-020P |
---|---|
สเตจแกรนิต | (310*220) มิลลิเมตร |
เวทีกระจก | (179.5*129.5) มม. |
การเดินทางของแกน X/Y | (150*100) มม. |
เครื่องชั่งเชิงเส้น X/Y | ความละเอียด: 0.5um |
รหัส# | 525-020P |
---|---|
สเตจแกรนิต | (310*220) มิลลิเมตร |
เวทีกระจก | (179.5*129.5) มม. |
การเดินทางของแกน X/Y | (150*100) มม. |
เครื่องชั่งเชิงเส้น X/Y | ความละเอียด: 0.5um |
รหัส# | 512-400 |
---|---|
ขนาดระยะการทำงาน | 455x126มม. |
การทำงานระยะการเดินทาง | 300x150มม |
สมาธิ | 120มม |
ความถูกต้อง | ≤3+L/200(หนอ) |
รหัส# | 512-350 |
---|---|
ขนาดระยะการทำงาน | 355x126มม. |
การทำงานระยะการเดินทาง | 200x100 มิลลิเมตร |
สมาธิ | 90มม |
ความถูกต้อง | ≤3+L/200(หนอ) |
รหัส# | 511-330 |
---|---|
ขนาดเวทีโลหะ | 258x308มม. |
ขนาดเวทีกระจก | 148x206 มิลลิเมตร |
สเตจ ทราเวล เรนจ์ | 150x100มม. |
ขนาดผลิตภัณฑ์ | 988x563x1157มม. |
รหัส# | 542-310 |
---|---|
การทำงานระยะการเดินทาง | 355x125มม. |
การเคลื่อนที่ของแกน X/Y | 200x120มม. |
แกน Z | 110มม |
ความแม่นยำในการวัด | ≤3+L/200um |
รหัส# | 511-420 |
---|---|
ขนาดเวทีโลหะ | 308x408มม. |
ขนาดเวทีกระจก | 198x306มม. |
สเตจ ทราเวล เรนจ์ | 250X150มม |
ขนาดผลิตภัณฑ์ | 1003x617x1309มม. |