| รหัส# | 542-310 |
|---|---|
| การเดินทางบนเวทีการทำงาน | 355x125 มม. |
| การเดินทาง x/y-axis | 200x120 มม. |
| แกน z | 110 มม. |
| ความแม่นยำในการวัด | ≤3+l/200um |
| รหัส# | 542-310 |
|---|---|
| การเดินทางบนเวทีการทำงาน | 355x125 มม. |
| การเดินทาง x/y-axis | 200x120 มม. |
| แกน z | 110 มม. |
| ความแม่นยำในการวัด | ≤3+l/200um |
| รหัส# | 521-420เจ |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (650*580) มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (540*440) มม. |
| การเดินทางแกน X/Y | (500*400)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | ระยะเดินทางที่มีประสิทธิภาพ 200มม. |
| รหัส# | 523-180M |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (1500*1200)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤3.0+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 528-180H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*400) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด：0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤1.2+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 542-310 |
|---|---|
| การเดินทางบนเวทีการทำงาน | 355x125 มม. |
| การเดินทาง x/y-axis | 200x120 มม. |
| แกน z | 110 มม. |
| ความแม่นยำในการวัด | ≤3+l/200um |
| รหัส# | 542-310 |
|---|---|
| การเดินทางบนเวทีการทำงาน | 355x125 มม. |
| การเดินทาง x/y-axis | 200x120 มม. |
| แกน z | 110 มม. |
| ความแม่นยำในการวัด | ≤3+l/200um |
| รหัส# | 525-020DP |
|---|---|
| เวทีหินแกรนิต | (310*220) มม. |
| เวทีแก้ว | (179.5*129.5) มม. |
| แกน x/y เดินทาง | (150*100) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น | ความละเอียด: 0.5um |
| รหัส# | 525-020P |
|---|---|
| เวทีหินแกรนิต | (310*220) มม. |
| เวทีแก้ว | (179.5*129.5) มม. |
| แกน x/y เดินทาง | (150*100) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น X/Y | ความละเอียด: 0.5um |
| รหัส# | 525-020ep |
|---|---|
| เวทีหินแกรนิต | (390*220) มม. |
| เวทีแก้ว | (229.5*129.5) มม. |
| แกน x/y เดินทาง | (200*100) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น | ความละเอียด: 0.5um |
