รหัส# | 523-180ก |
---|---|
การเดินทางแกน X/Y | (1800*1200) มม |
แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
ความแม่นยำของแกน XY | ≤3.5+L/200(ไมโครเมตร) |
รหัส# | 502-120กรัม |
---|---|
การเดินทางแกน X/Y | (300*200)มม. |
ขนาด(กxยxส) | (1237*740*1664)มม. |
น้ําหนัก | 380กก |
แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
รหัส# | 522-180H |
---|---|
การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
แกน X/Y/Z ระดับเส้น | 0.1um |
ความแม่นยำของแกน XY | ≤1.8+ลิตร/200ไมโครเมตร |