| รหัส# | 529-120J |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (500*400)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤3.0+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 527-120H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.0+L/200(ไมโครเมตร) |
| ช่วงการวัด | 115*145*75มม |
|---|---|
| ความถูกต้อง | ±1.5ไมโครเมตร |
| ความจุ | 5กก |
| ความซ้ํา | ± 1.5μm |
| หน่วยขั้นต่ำ | 0.1μm |
| ช่วงการวัด | 215*145*75มม |
|---|---|
| ความถูกต้อง | ±1.5ไมโครเมตร |
| ความจุ | 5กก |
| ความซ้ํา | ± 1.5μm |
| หน่วยขั้นต่ำ | 0.1μm |
| ช่วงการวัด | φ100mm |
|---|---|
| ความถูกต้อง | ±1.5ไมโครเมตร |
| ความจุ | 5กก |
| ความซ้ํา | ± 1.5μm |
| หน่วยขั้นต่ำ | 0.1μm |
| รหัส# | 500-030 |
|---|---|
| เลนส์ | เลนส์เทเลเซนทริกคู่ 0.3X |
| ระยะการทำงาน | 110 มม |
| ทุ่งหญ้ากว้าง | Ø 30มม.(28x24) |
| ความแม่นยำในการวัด | ±2um |
| รหัส# | 525-120กรัม |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (505*350)มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (356*248)มม. |
| การเดินทางของแกน X/Y | (300*200)มม. |
| การเดินทางแกน Z | 200มม |
| รหัส# | 521-320F |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (408*308) มม |
| โต๊ะทำงานกระจก | (306*198)มม. |
| การเดินทางแกน X/Y | (250*150) มิลลิเมตร |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | ระยะเดินทางที่มีประสิทธิภาพ 200มม. |
| รหัส# | 521-320เจ |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (650*580) มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (540*440) มม. |
| การเดินทางแกน X/Y | (500*400)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | ระยะเดินทางที่มีประสิทธิภาพ 200มม. |
| รหัส# | 525-120H |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (605*450)มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (456*348)มม. |
| การเดินทางของแกน X/Y | (400*300)มม |
| การเดินทางแกน Z | 200มม |
