| รหัส# | 523-180M |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (1000*800) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.0+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 523-280เอช |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤1.8+ลิตร/200ไมโครเมตร |
| รหัส# | 523-180ก |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (1800*1200) มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤3.5+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 527-120H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.0+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 503-120เอช |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| ขนาด(กxยxส) | (1195*832*1579)มม. |
| น้ำหนัก | 650 กิโลกรัม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200 มม. |
| รหัส# | 502-120เอช |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| ขนาด(กxยxส) | (1337*840*1664)มม. |
| น้ําหนัก | 600กก |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| รหัส# | 520-020 |
|---|---|
| โต๊ะทำงาน | (245x180)มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (130x130) มม. |
| การเดินทางแกน X/Y | (100*100)มม. |
| ความละเอียดแกน X/Y | ความละเอียด: 0.5um |
| รหัส# | 500-080 |
|---|---|
| เลนส์ | เลนส์เทเลเซนทริกคู่ 0.088X |
| ระยะการทำงาน | 120มม |
| ทุ่งหญ้ากว้าง | Ø116มม.(94x76) |
| ความแม่นยำในการวัด | ±4um |
| รหัส# | 523-220ชม. |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.5+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 525-120กรัม |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (505*350)มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (356*248)มม. |
| การเดินทางของแกน X/Y | (300*200)มม. |
| การเดินทางแกน Z | 200มม |
