| รหัส# | 525-120H |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (605*450)มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (456*348)มม. |
| แกน x/y เดินทาง | (400*300)มม |
| การเดินทางแกน z | 200มม |
| รหัส# | 525-020ง |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินแกรนิต | (310*220)มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (179.5*129.5)มม. |
| แกน x/y เดินทาง | (150*100)มม. |
| การเดินทางแกน z | 100มม |
| Vimea322A | 524-220กรัม |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*200) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| การทำซ้ำ | 2um |
| รหัส# | 500-200 |
|---|---|
| สาขาการมองเห็น | กว้าง 190*กว้าง 127*สูง 229 มม. |
| โหมดการเคลื่อนที่แกน Z | อัตโนมัติ |
| กำลังขยายของเลนส์เทเลเซนทริกสองข้าง | 0.069 เท่า |
| ความชัดลึก | 10มม |
| รหัส# | 525-320H |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (605*450)มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (456*348)มม. |
| แกน x/y เดินทาง | (400*300)มม |
| การเดินทางแกน z | 200มม |
| รหัส# | 525-020ง |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินแกรนิต | (310*220)มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (179.5*129.5)มม. |
| แกน x/y เดินทาง | (150*100)มม. |
| การเดินทางแกน z | 100มม |
| Vimea322A | 524-120G |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*200) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| การทำซ้ำ | 2um |
| รหัส# | 522-120G |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*200) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | 0.5um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.0+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 521-420เจ |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (650*580) มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (540*440) มม. |
| การเดินทางแกน X/Y | (500*400)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | ระยะเดินทางที่มีประสิทธิภาพ 200มม. |
| รหัส# | 522-420กรัม |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*200) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | 0.5um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.0+L/200(ไมโครเมตร) |
