| รหัส# | 522-180H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤1.8+ลิตร/200ไมโครเมตร |
| รหัส# | 522-180เจ |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (500*400)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤1.8+ลิตร/200ไมโครเมตร |
| รหัส# | 522-280กรัม |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*200) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤1.8+ลิตร/200ไมโครเมตร |
| รหัส# | 523-280K |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (600*500) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤1.8+ลิตร/200ไมโครเมตร |
| รหัส# | 523-480ลิตร |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (800*600)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤1.8+ลิตร/200ไมโครเมตร |
| รหัส# | 523-280ลิตร |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (800*600)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤1.8+ลิตร/200ไมโครเมตร |
| รหัส# | 523-180M |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (1500*1200)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤3.0+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 525-020DP |
|---|---|
| เวทีหินแกรนิต | (310*220) มม. |
| เวทีแก้ว | (179.5*129.5) มม. |
| แกน x/y เดินทาง | (150*100) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น | ความละเอียด: 0.5um |
| รหัส# | 500-080 |
|---|---|
| เลนส์ | เลนส์เทเลเซนทริกคู่ 0.088X |
| ระยะการทำงาน | 120มม |
| ทุ่งหญ้ากว้าง | Ø116มม.(94x76) |
| ความแม่นยำในการวัด | ±4um |
| รหัส# | 542-310 |
|---|---|
| การเดินทางบนเวทีการทำงาน | 355x125 มม. |
| การเดินทาง x/y-axis | 200x120 มม. |
| แกน z | 110 มม. |
| ความแม่นยำในการวัด | ≤3+l/200um |
