| รหัส# | 542-310 |
|---|---|
| การเดินทางบนเวทีการทำงาน | 355x125 มม. |
| การเดินทาง x/y-axis | 200x120 มม. |
| แกน z | 110 มม. |
| ความแม่นยำในการวัด | ≤3+l/200um |
| รหัส# | 523-280N |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (1200*1000)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.5+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 525-380K |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (500*500)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 300มม |
| สเกลเชิงเส้นแกน X/Y/Z | ความละเอียด: 0.1um |
| โหมดแนะนำ | รางนำทางเชิงเส้นแบบแม่นยำ |
| รหัส# | 542-310 |
|---|---|
| การเดินทางบนเวทีการทำงาน | 355x125 มม. |
| การเดินทาง x/y-axis | 200x120 มม. |
| แกน z | 110 มม. |
| ความแม่นยำในการวัด | ≤3+l/200um |
| รหัส# | 524-220H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| การทำซ้ำ | 2um |
| รหัส# | 529-120J |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (500*400)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤3.0+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 529-120H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤3.0+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 529-120G |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*200) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.5+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 525-020ep |
|---|---|
| เวทีหินแกรนิต | (390*220) มม. |
| เวทีแก้ว | (229.5*129.5) มม. |
| แกน x/y เดินทาง | (200*100) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น | ความละเอียด: 0.5um |
| รหัส# | 500-030 |
|---|---|
| เลนส์ | เลนส์เทเลเซนทริกคู่ 0.3X |
| ระยะการทำงาน | 110 มม. |
| ทุ่งหญ้ากว้าง | Ø 30มม.(28x24) |
| ความแม่นยำในการวัด | ±2um |
