รหัส# | 521-320เจ |
---|---|
โต๊ะทำงานหินอ่อน | (650*580) มม. |
โต๊ะทำงานกระจก | (540*440) มม. |
การเดินทางแกน X/Y | (500*400)มม. |
แซด แอ็กซิส ทราเวล | ระยะเดินทางที่มีประสิทธิภาพ 200มม. |
รหัส# | 523-280N |
---|---|
การเดินทางแกน X/Y | (1200*1000)มม. |
แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.5+L/200(ไมโครเมตร) |