| รหัส# | 522-420กรัม |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*200)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | 0.5um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.0+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 524-220H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความซ้ํา | 2um |
| รหัส# | 524-220H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความซ้ํา | 2um |
| รหัส# | 528-180H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*400) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด：0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤1.2+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 521-320F |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (408*308) มม |
| โต๊ะทำงานกระจก | (306*198)มม. |
| การเดินทางแกน X/Y | (250*150) มิลลิเมตร |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | ระยะเดินทางที่มีประสิทธิภาพ 200มม. |
| รหัส# | 521-420E |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (270*350) มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (142*242)มม. |
| การเดินทางแกน X/Y | (200*100) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | ระยะเดินทางที่มีประสิทธิภาพ 200มม. |
| รหัส# | 521-420เจ |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (650*580) มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (540*440) มม. |
| การเดินทางแกน X/Y | (500*400)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | ระยะเดินทางที่มีประสิทธิภาพ 200มม. |
| รหัส# | 521-320ห |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (608*470) มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (456*348)มม. |
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | ระยะเดินทางที่มีประสิทธิภาพ 200มม. |
| รหัส# | 523-280K |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (600*500) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤1.8+ลิตร/200ไมโครเมตร |
| รหัส# | 523-480ลิตร |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (800*600)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤1.8+ลิตร/200ไมโครเมตร |
