| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| รหัส# | 542-310 |
|---|---|
| การทำงานระยะการเดินทาง | 355x125มม. |
| การเคลื่อนที่ของแกน X/Y | 200x120มม. |
| แกน Z | 110มม |
| ความแม่นยำในการวัด | ≤3+L/200um |
| รหัส# | 512-350 |
|---|---|
| ขนาดระยะการทำงาน | 355x126มม. |
| การทำงานระยะการเดินทาง | 200x100 มิลลิเมตร |
| สมาธิ | 90มม |
| ความถูกต้อง | ≤3+L/200(หนอ) |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| รหัส# | 523-280K |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (600*500) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤1.8+ลิตร/200ไมโครเมตร |
| รหัส# | 523-180M |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (1500*1200)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤3.0+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 528-180H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*400) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด：0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤1.2+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 528-180H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*400) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด：0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤1.2+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 525-180N |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (1000*1000)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 300MM |
| สเกลเชิงเส้นแกน X/Y/Z | ความละเอียด: 0.1um |
| โหมดแนะนำ | รางนำทางเชิงเส้นแบบแม่นยำ |
