| รหัส# | 525-020P |
|---|---|
| สเตจแกรนิต | (310*220) มิลลิเมตร |
| เวทีกระจก | (179.5*129.5) มม. |
| การเดินทางของแกน X/Y | (150*100) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น X/Y | ความละเอียด: 0.5um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| รหัส# | 542-310 |
|---|---|
| การทำงานระยะการเดินทาง | 355x125มม. |
| การเคลื่อนที่ของแกน X/Y | 200x120มม. |
| แกน Z | 110มม |
| ความแม่นยำในการวัด | ≤3+L/200um |
| รหัส# | 525-380K |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (500*500)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 300MM |
| สเกลเชิงเส้นแกน X/Y/Z | ความละเอียด: 0.1um |
| โหมดแนะนำ | รางนำทางเชิงเส้นแบบแม่นยำ |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| รหัส# | 524-220H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความซ้ํา | 2um |
| รหัส# | 524-220H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความซ้ํา | 2um |
| รหัส# | 529-120J |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (500*400)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤3.0+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 529-120H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤3.0+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 529-120G |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*200)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.5+L/200(ไมโครเมตร) |
