| รหัส# | 523-180M |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (1000*800) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.0+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 523-180M |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (1500*1200)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤3.0+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 521-320เจ |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (650*580) มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (540*440) มม. |
| การเดินทางแกน X/Y | (500*400)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | ระยะเดินทางที่มีประสิทธิภาพ 200มม. |
| รหัส# | 500-080 |
|---|---|
| เลนส์ | เลนส์เทเลเซนทริกคู่ 0.088X |
| ระยะการทำงาน | 120มม |
| ทุ่งหญ้ากว้าง | Ø116มม.(94x76) |
| ความแม่นยำในการวัด | ±4um |
| รหัส# | 542-310 |
|---|---|
| การเดินทางบนเวทีการทำงาน | 355x125 มม. |
| การเดินทาง x/y-axis | 200x120 มม. |
| แกน z | 110 มม. |
| ความแม่นยำในการวัด | ≤3+l/200um |
| รหัส# | 542-310 |
|---|---|
| การเดินทางบนเวทีการทำงาน | 355x125 มม. |
| การเดินทาง x/y-axis | 200x120 มม. |
| แกน z | 110 มม. |
| ความแม่นยำในการวัด | ≤3+l/200um |
| รหัส# | 542-310 |
|---|---|
| การเดินทางบนเวทีการทำงาน | 355x125 มม. |
| การเดินทาง x/y-axis | 200x120 มม. |
| แกน z | 110 มม. |
| ความแม่นยำในการวัด | ≤3+l/200um |
| รหัส# | 522-120G |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*200) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | 0.5um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.0+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 521-320ห |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (608*470) มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (456*348)มม. |
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | ระยะเดินทางที่มีประสิทธิภาพ 200มม. |
| รหัส# | 522-420กรัม |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*200) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | 0.5um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.0+L/200(ไมโครเมตร) |
