รหัส# | 502-120เอช |
---|---|
การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
ขนาด(กxยxส) | (1337*840*1664)มม. |
น้ําหนัก | 600กก |
แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
รหัส# | 503-120เจ |
---|---|
การเดินทางแกน X/Y | (500*400)มม. |
ขนาด(กxยxส) | (1463*940*1591)มม. |
น้ําหนัก | 780KG |
แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
รหัส# | 502-320เจ |
---|---|
การเดินทางแกน X/Y | (500*400)มม. |
ขนาด(กxยxส) | (1437*940*1664)มม. |
น้ําหนัก | 750กก |
แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
รหัส# | 524-220H |
---|---|
การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
ความซ้ํา | 2um |
รหัส# | 500-030 |
---|---|
เลนส์ | เลนส์เทเลเซนทริกคู่ 0.3X |
ระยะการทำงาน | 110 มม |
ทุ่งหญ้ากว้าง | Ø 30มม.(28x24) |
ความแม่นยำในการวัด | ±2um |
รหัส# | 521-320ห |
---|---|
โต๊ะทำงานหินอ่อน | (608*470) มม. |
โต๊ะทำงานกระจก | (456*348)มม. |
การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
แซด แอ็กซิส ทราเวล | ระยะเดินทางที่มีประสิทธิภาพ 200มม. |
รหัส# | 523-280N |
---|---|
การเดินทางแกน X/Y | (1200*1000)มม. |
แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.5+L/200(ไมโครเมตร) |
รหัส# | 502-120กรัม |
---|---|
การเดินทางแกน X/Y | (300*200)มม. |
ขนาด(กxยxส) | (1237*740*1664)มม. |
น้ําหนัก | 380กก |
แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
รหัส# | 524-220H |
---|---|
การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
ความซ้ํา | 2um |
รหัส# | 524-120H |
---|---|
การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
ความซ้ํา | 2um |