| รหัส# | 511-420 |
|---|---|
| ขนาดเวทีโลหะ | 308x408มม. |
| ขนาดเวทีกระจก | 198x306มม. |
| สเตจ ทราเวล เรนจ์ | 250X150มม |
| มิติข้อมูลผลิตภัณฑ์ | 1003x617x1309มม. |
| รหัส# | 525-020P |
|---|---|
| เวทีหินแกรนิต | (310*220) มม. |
| เวทีแก้ว | (179.5*129.5) มม. |
| แกน x/y เดินทาง | (150*100) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น X/Y | ความละเอียด: 0.5um |
| รหัส# | 512-350 |
|---|---|
| ขนาดระยะการทำงาน | 355x126มม. |
| การเดินทางบนเวทีการทำงาน | 200x100 มิลลิเมตร |
| การโฟกัส | 90 มม. |
| ความแม่นยำ | ≤3+L/200(หนอ) |
| รหัส# | 512-400 |
|---|---|
| ขนาดระยะการทำงาน | 455x126มม. |
| การเดินทางบนเวทีการทำงาน | 300x150มม |
| การโฟกัส | 120มม |
| ความแม่นยำ | ≤3+L/200(หนอ) |
| รหัส# | 512-400 |
|---|---|
| ขนาดระยะการทำงาน | 455x126มม. |
| การเดินทางบนเวทีการทำงาน | 300x150มม |
| การโฟกัส | 120มม |
| ความแม่นยำ | ≤3+L/200(หนอ) |
| รหัส# | 511-410 |
|---|---|
| ขนาดเวทีโลหะ | 308x408มม. |
| ขนาดเวทีกระจก | 198x306มม. |
| สเตจ ทราเวล เรนจ์ | 200x100 มิลลิเมตร |
| มิติข้อมูลผลิตภัณฑ์ | 1003x617x1309มม. |
| รหัส# | 511-420 |
|---|---|
| ขนาดเวทีโลหะ | 308x408มม. |
| ขนาดเวทีกระจก | 198x306มม. |
| สเตจ ทราเวล เรนจ์ | 250X150มม |
| มิติข้อมูลผลิตภัณฑ์ | 1003x617x1309มม. |
| รหัส# | 512-400 |
|---|---|
| ขนาดระยะการทำงาน | 455x126มม. |
| การเดินทางบนเวทีการทำงาน | 300x150มม |
| การโฟกัส | 120มม |
| ความแม่นยำ | ≤3+L/200(หนอ) |
| รหัส# | 512-350 |
|---|---|
| ขนาดระยะการทำงาน | 355x126มม. |
| การเดินทางบนเวทีการทำงาน | 200x100 มิลลิเมตร |
| การโฟกัส | 90 มม. |
| ความแม่นยำ | ≤3+L/200(หนอ) |
| รหัส# | 511-330 |
|---|---|
| ขนาดเวทีโลหะ | 258x308มม. |
| ขนาดเวทีกระจก | 148x206 มิลลิเมตร |
| สเตจ ทราเวล เรนจ์ | 150x100มม. |
| มิติข้อมูลผลิตภัณฑ์ | 988x563x1157มม. |
