| รหัส# | 521-420E |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (270*350) มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (142*242)มม. |
| การเดินทางแกน X/Y | (200*100) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | ระยะเดินทางที่มีประสิทธิภาพ 200มม. |
| รหัส# | 524-220H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความซ้ํา | 2um |