| รหัส# | 531-130 |
|---|---|
| ขนาดเวทีโลหะ | 252×252มม. |
| ขนาดเวทีกระจก | 196×96มม. |
| การแก้ไข | 0.5um |
| ความแม่นยำในการวัด | ≤5um |
| รหัส# | 532-190 |
|---|---|
| การเคลื่อนที่ของแกน X/Y | 300x200มม |
| ความละเอียดของสเกล | 0.0001มม |
| ภาพจากการสังเกต | ภาพด้านหน้า (มีภาพตั้งตรงให้ใช้งาน) |
| หลอดตา | เลนส์ตาคู่: WF10/20 |
| รหัส# | 532-160 |
|---|---|
| การเคลื่อนที่ของแกน X/Y | 300x200มม |
| ความละเอียดของสเกล | 0.0005มม |
| ภาพจากการสังเกต | ภาพด้านหน้า |
| หลอดตา | เลนส์ตาคู่: WF10/20 |
| รหัส# | 532-180 |
|---|---|
| การเคลื่อนที่ของแกน X/Y | 200X150มม |
| ความละเอียดของสเกล | 0.0001มม |
| ภาพจากการสังเกต | ภาพด้านหน้า (มีภาพตั้งตรงให้ใช้งาน) |
| หลอดตา | เลนส์ตาคู่: WF10/20 |