| รหัส# | 521-320F |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (408*308) มม |
| โต๊ะทำงานกระจก | (306*198)มม. |
| การเดินทางแกน X/Y | (250*150) มิลลิเมตร |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | ระยะเดินทางที่มีประสิทธิภาพ 200มม. |
| รหัส# | 522-120G |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*200)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | 0.5um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.0+L/200(ไมโครเมตร) |