รหัส# | 521-320F |
---|---|
โต๊ะทำงานหินอ่อน | (408*308) มม |
โต๊ะทำงานกระจก | (306*198)มม. |
การเดินทางแกน X/Y | (250*150) มิลลิเมตร |
แซด แอ็กซิส ทราเวล | ระยะเดินทางที่มีประสิทธิภาพ 200มม. |
รหัส# | 522-120G |
---|---|
การเดินทางแกน X/Y | (300*200)มม. |
แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
แกน X/Y/Z ระดับเส้น | 0.5um |
ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.0+L/200(ไมโครเมตร) |