| รหัส# | 523-180M |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (1500*1200)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤3.0+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 523-280K |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (600*500) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤1.8+ลิตร/200ไมโครเมตร |
| รหัส# | 525-380K |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (500*500)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 300มม |
| สเกลเชิงเส้นแกน X/Y/Z | ความละเอียด: 0.1um |
| โหมดแนะนำ | รางนำทางเชิงเส้นแบบแม่นยำ |
| รหัส# | 523-280N |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (1200*1000)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.5+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 529-120J |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (500*400)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤3.0+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 529-120H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤3.0+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 529-120G |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*200) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.5+L/200(ไมโครเมตร) |
