| รหัส# | 525-020ง |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินแกรนิต | (310*220)มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (179.5*129.5)มม. |
| การเดินทางของแกน X/Y | (150*100)มม. |
| การเดินทางแกน Z | 100มม |
| รหัส# | 525-320H |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (605*450)มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (456*348)มม. |
| การเดินทางของแกน X/Y | (400*300)มม |
| การเดินทางแกน Z | 200มม |
| รหัส# | 524-220H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความซ้ํา | 2um |
| รหัส# | 524-120H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความซ้ํา | 2um |
| รหัส# | 529-120J |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (500*400)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤3.0+L/200(ไมโครเมตร) |
| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| รหัส# | 525-120H |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (605*450)มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (456*348)มม. |
| การเดินทางของแกน X/Y | (400*300)มม |
| การเดินทางแกน Z | 200มม |
| รหัส# | 525-120กรัม |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (505*350)มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (356*248)มม. |
| การเดินทางของแกน X/Y | (300*200)มม. |
| การเดินทางแกน Z | 200มม |
| รหัส# | 525-020ง |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินแกรนิต | (310*220)มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (179.5*129.5)มม. |
| การเดินทางของแกน X/Y | (150*100)มม. |
| การเดินทางแกน Z | 100มม |
| รหัส# | 529-120H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤3.0+L/200(ไมโครเมตร) |
