| รหัส# | 525-020ง |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินแกรนิต | (310*220)มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (179.5*129.5)มม. |
| การเดินทางของแกน X/Y | (150*100)มม. |
| การเดินทางแกน Z | 100มม |
| รหัส# | 525-320H |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (605*450)มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (456*348)มม. |
| การเดินทางของแกน X/Y | (400*300)มม |
| การเดินทางแกน Z | 200มม |
| รหัส# | 524-220H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความซ้ํา | 2um |
| รหัส# | 524-120H |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความซ้ํา | 2um |
| รหัส# | 525-020P |
|---|---|
| สเตจแกรนิต | (310*220) มิลลิเมตร |
| เวทีกระจก | (179.5*129.5) มม. |
| การเดินทางของแกน X/Y | (150*100) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น X/Y | ความละเอียด: 0.5um |
| รหัส# | 525-120H |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (605*450)มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (456*348)มม. |
| การเดินทางของแกน X/Y | (400*300)มม |
| การเดินทางแกน Z | 200มม |
| รหัส# | 525-120กรัม |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (505*350)มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (356*248)มม. |
| การเดินทางของแกน X/Y | (300*200)มม. |
| การเดินทางแกน Z | 200มม |
| รหัส# | 525-020ง |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินแกรนิต | (310*220)มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (179.5*129.5)มม. |
| การเดินทางของแกน X/Y | (150*100)มม. |
| การเดินทางแกน Z | 100มม |
| รหัส# | 523-220ชม. |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.5+L/200(ไมโครเมตร) |
| Vimea322A | 524-220กรัม |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*200)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความซ้ํา | 2um |
