| รหัส# | 512-350 |
|---|---|
| ขนาดระยะการทำงาน | 355x126มม. |
| การเดินทางบนเวทีการทำงาน | 200x100 มิลลิเมตร |
| การโฟกัส | 90 มม. |
| ความแม่นยำ | ≤3+L/200(หนอ) |
| รหัส# | 511-330 |
|---|---|
| ขนาดเวทีโลหะ | 258x308มม. |
| ขนาดเวทีกระจก | 148x206 มิลลิเมตร |
| สเตจ ทราเวล เรนจ์ | 150x100มม. |
| มิติข้อมูลผลิตภัณฑ์ | 988x563x1157มม. |
| รหัส# | 525-020P |
|---|---|
| เวทีหินแกรนิต | (310*220) มม. |
| เวทีแก้ว | (179.5*129.5) มม. |
| แกน x/y เดินทาง | (150*100) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น X/Y | ความละเอียด: 0.5um |
| รหัส# | 510-340 |
|---|---|
| ขนาดหน้าจอ LCD | 115มม.×85มม. |
| ความละเอียดหน้าจอ LCD | 640*480 |
| แกนแสดงผล | 3 แกน (X,Y,Z/Q) |
| ความละเอียดระดับเชิงเส้น | 0.1 ไมโครเมตร, 0.2 ไมโครเมตร, 0.5 ไมโครเมตร, 1 ไมโครเมตร, 2 ไมโครเมตร, 5 ไมโครเมตร |
| รหัส# | 525-020DP |
|---|---|
| เวทีหินแกรนิต | (310*220) มม. |
| เวทีแก้ว | (179.5*129.5) มม. |
| แกน x/y เดินทาง | (150*100) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น | ความละเอียด: 0.5um |
| รหัส# | 521-120กรัม |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (458*358) มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (356*248) มม. |
| การเดินทางแกน X/Y | (300*200) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | ระยะเดินทางที่มีประสิทธิภาพ 200มม. |
| รหัส# | 521-320F |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (408*308) มม |
| โต๊ะทำงานกระจก | (306*198)มม. |
| การเดินทางแกน X/Y | (250*150) มิลลิเมตร |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | ระยะเดินทางที่มีประสิทธิภาพ 200มม. |
| รหัส# | 521-420E |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (270*350) มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (142*242)มม. |
| การเดินทางแกน X/Y | (200*100) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | ระยะเดินทางที่มีประสิทธิภาพ 200มม. |
| รหัส# | 521-420เจ |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (650*580) มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (540*440) มม. |
| การเดินทางแกน X/Y | (500*400)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | ระยะเดินทางที่มีประสิทธิภาพ 200มม. |
| รหัส# | 521-320ห |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (608*470) มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (456*348)มม. |
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | ระยะเดินทางที่มีประสิทธิภาพ 200มม. |
