| ช่วงการวัด | 115*145*75มม |
|---|---|
| ความถูกต้อง | ±1.5ไมโครเมตร |
| ความจุ | 5กก |
| ความซ้ํา | ± 1.5μm |
| หน่วยขั้นต่ำ | 0.1μm |
| ช่วงการวัด | 215*145*75มม |
|---|---|
| ความถูกต้อง | ±1.5ไมโครเมตร |
| ความจุ | 5กก |
| ความซ้ํา | ± 1.5μm |
| หน่วยขั้นต่ำ | 0.1μm |
| ช่วงการวัด | φ100mm |
|---|---|
| ความถูกต้อง | ±1.5ไมโครเมตร |
| ความจุ | 5กก |
| ความซ้ํา | ± 1.5μm |
| หน่วยขั้นต่ำ | 0.1μm |
| รหัส# | 520-020 |
|---|---|
| โต๊ะทำงาน | (245x180)มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (130x130) มม. |
| การเดินทางแกน X/Y | (100*100)มม. |
| ความละเอียดแกน X/Y | ความละเอียด: 0.5um |
| รหัส# | 502-120เอช |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| ขนาด(กxยxส) | (1337*840*1664)มม. |
| น้ําหนัก | 600กก |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| รหัส# | 503-120เจ |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (500*400)มม. |
| ขนาด(กxยxส) | (1463*940*1591)มม. |
| น้ําหนัก | 780KG |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| รหัส# | 502-120เอช |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| ขนาด(กxยxส) | (1337*840*1664)มม. |
| น้ําหนัก | 600กก |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| รหัส# | 500-030 |
|---|---|
| เลนส์ | เลนส์เทเลเซนทริกคู่ 0.3X |
| ระยะการทำงาน | 110 มม |
| ทุ่งหญ้ากว้าง | Ø 30มม.(28x24) |
| ความแม่นยำในการวัด | ±2um |
| รหัส# | 503-120เอช |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| ขนาด(กxยxส) | (1195*832*1579)มม. |
| น้ําหนัก | 650กก |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| รหัส# | 502-320เจ |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (500*400)มม. |
| ขนาด(กxยxส) | (1437*940*1664)มม. |
| น้ําหนัก | 750กก |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
