| รหัส# | 523-280N |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (1200*1000)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| แกน X/Y/Z ระดับเส้น | ความละเอียด: 0.1um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.5+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 521-320ห |
|---|---|
| โต๊ะทำงานหินอ่อน | (608*470) มม. |
| โต๊ะทำงานกระจก | (456*348)มม. |
| การเดินทางแกน X/Y | (400*300)มม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | ระยะเดินทางที่มีประสิทธิภาพ 200มม. |