| รหัส# | 511-330 |
|---|---|
| ขนาดเวทีโลหะ | 258x308มม. |
| ขนาดเวทีกระจก | 148x206 มิลลิเมตร |
| สเตจ ทราเวล เรนจ์ | 150x100มม. |
| ขนาดผลิตภัณฑ์ | 988x563x1157มม. |
| รหัส# | 511-340 |
|---|---|
| ขนาดเวทีโลหะ | 258x358mm |
| ขนาดเวทีกระจก | 148x256มม. |
| สเตจ ทราเวล เรนจ์ | 200x100 มิลลิเมตร |
| ขนาดผลิตภัณฑ์ | 988x563x1157มม. |
| รหัส# | 525-020P |
|---|---|
| สเตจแกรนิต | (310*220) มิลลิเมตร |
| เวทีกระจก | (179.5*129.5) มม. |
| การเดินทางของแกน X/Y | (150*100) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น X/Y | ความละเอียด: 0.5um |
| รหัส# | 510-340 |
|---|---|
| ขนาดหน้าจอ LCD | 115มม.×85มม. |
| ความละเอียดหน้าจอ LCD | 640*480 |
| แกนแสดงผล | 3 แกน (X,Y,Z/Q) |
| ความละเอียดสเกลเชิงเส้น | 0.1 ไมโครเมตร, 0.2 ไมโครเมตร, 0.5 ไมโครเมตร, 1 ไมโครเมตร, 2 ไมโครเมตร, 5 ไมโครเมตร |
| รหัส# | 525-020P |
|---|---|
| สเตจแกรนิต | (310*220) มิลลิเมตร |
| เวทีกระจก | (179.5*129.5) มม. |
| การเดินทางของแกน X/Y | (150*100) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น X/Y | ความละเอียด: 0.5um |
