| รหัส# | 525-020ep |
|---|---|
| เวทีหินแกรนิต | (390*220) มม. |
| เวทีแก้ว | (229.5*129.5) มม. |
| แกน x/y เดินทาง | (200*100) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น | ความละเอียด: 0.5um |
| รหัส# | 525-020GP |
|---|---|
| เวทีหินแกรนิต | (505*350) มม. |
| เวทีแก้ว | (356*248) มม. |
| แกน x/y เดินทาง | (300*200) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น | ความละเอียด: 0.5um |
| รหัส# | 525-020DP |
|---|---|
| เวทีหินแกรนิต | (310*220) มม. |
| เวทีแก้ว | (179.5*129.5) มม. |
| แกน x/y เดินทาง | (150*100) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น | ความละเอียด: 0.5um |