| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| รหัส# | 510-340 |
|---|---|
| ขนาดหน้าจอ LCD | 115มม.×85มม. |
| ความละเอียดหน้าจอ LCD | 640*480 |
| แกนแสดงผล | 3 แกน (X,Y,Z/Q) |
| ความละเอียดสเกลเชิงเส้น | 0.1 ไมโครเมตร, 0.2 ไมโครเมตร, 0.5 ไมโครเมตร, 1 ไมโครเมตร, 2 ไมโครเมตร, 5 ไมโครเมตร |
| รหัส# | 511-410 |
|---|---|
| ขนาดเวทีโลหะ | 308x408มม. |
| ขนาดเวทีกระจก | 198x306มม. |
| สเตจ ทราเวล เรนจ์ | 200x100 มิลลิเมตร |
| ขนาดผลิตภัณฑ์ | 1003x617x1309มม. |
| รหัส# | 511-330 |
|---|---|
| ขนาดเวทีโลหะ | 258x308มม. |
| ขนาดเวทีกระจก | 148x206 มิลลิเมตร |
| สเตจ ทราเวล เรนจ์ | 150x100มม. |
| ขนาดผลิตภัณฑ์ | 988x563x1157มม. |
| รหัส# | 511-420 |
|---|---|
| ขนาดเวทีโลหะ | 308x408มม. |
| ขนาดเวทีกระจก | 198x306มม. |
| สเตจ ทราเวล เรนจ์ | 250X150มม |
| ขนาดผลิตภัณฑ์ | 1003x617x1309มม. |
| รหัส# | 510-340 |
|---|---|
| ขนาดหน้าจอ LCD | 115มม.×85มม. |
| ความละเอียดหน้าจอ LCD | 640*480 |
| แกนแสดงผล | 3 แกน (X,Y,Z/Q) |
| ความละเอียดสเกลเชิงเส้น | 0.1 ไมโครเมตร, 0.2 ไมโครเมตร, 0.5 ไมโครเมตร, 1 ไมโครเมตร, 2 ไมโครเมตร, 5 ไมโครเมตร |
| รหัส# | 511-340 |
|---|---|
| ขนาดเวทีโลหะ | 258x358mm |
| ขนาดเวทีกระจก | 148x256มม. |
| สเตจ ทราเวล เรนจ์ | 200x100 มิลลิเมตร |
| ขนาดผลิตภัณฑ์ | 988x563x1157มม. |
