| รหัส# | 525-020ep |
|---|---|
| เวทีหินแกรนิต | (390*220) มม. |
| เวทีแก้ว | (229.5*129.5) มม. |
| แกน x/y เดินทาง | (200*100) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น | ความละเอียด: 0.5um |
| รหัส# | 529-120G |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*200) มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.5+L/200(ไมโครเมตร) |
| รหัส# | 502-120กรัม |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*200) มม. |
| ขนาด(กxยxส) | (1237*740*1664)มม. |
| น้ำหนัก | 380 กิโลกรัม |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |