| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Granite Stage | (390*220)mm |
| Glass Stage | (229.5*129.5)mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| รหัส# | 502-120กรัม |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*200)มม. |
| ขนาด(กxยxส) | (1237*740*1664)มม. |
| น้ําหนัก | 380กก |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| รหัส# | 529-120G |
|---|---|
| การเดินทางแกน X/Y | (300*200)มม. |
| แซด แอ็กซิส ทราเวล | 200มม |
| สเกลเชิงเส้น 3 แกน X/Y/Z (มม.) | ความละเอียด: 0.5um |
| ความแม่นยำของแกน XY | ≤2.5+L/200(ไมโครเมตร) |