| รหัส# | 525-020DP |
|---|---|
| เวทีหินแกรนิต | (310*220) มม. |
| เวทีแก้ว | (179.5*129.5) มม. |
| แกน x/y เดินทาง | (150*100) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น | ความละเอียด: 0.5um |
| รหัส# | 525-020P |
|---|---|
| เวทีหินแกรนิต | (310*220) มม. |
| เวทีแก้ว | (179.5*129.5) มม. |
| แกน x/y เดินทาง | (150*100) มม. |
| เครื่องชั่งเชิงเส้น X/Y | ความละเอียด: 0.5um |
| รหัส# | 512-350 |
|---|---|
| ขนาดระยะการทำงาน | 355x126มม. |
| การเดินทางบนเวทีการทำงาน | 200x100 มิลลิเมตร |
| การโฟกัส | 90 มม. |
| ความแม่นยำ | ≤3+L/200(หนอ) |
| รหัส# | 542-310 |
|---|---|
| การเดินทางบนเวทีการทำงาน | 355x125 มม. |
| การเดินทาง x/y-axis | 200x120 มม. |
| แกน z | 110 มม. |
| ความแม่นยำในการวัด | ≤3+l/200um |
| รหัส# | 542-310 |
|---|---|
| การเดินทางบนเวทีการทำงาน | 355x125 มม. |
| การเดินทาง x/y-axis | 200x120 มม. |
| แกน z | 110 มม. |
| ความแม่นยำในการวัด | ≤3+l/200um |